Horno PECVD

1.Tipo: Sistema PECVD de zona dual tipo deslizador de 1200 grados
2.Número de fase: monofásico
3.Tipo de termopar: tipo K
4.Modelo: TOB-DSP-1200 grado -PECVD
5.MOQ: 1 juego

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Introducción del producto

Sistema PECVD de zona dual tipo deslizador de 1200 grados

Especificación

Modelo	TOB-DSP-1200 grado -PECVD-I	TOB-DSP-1200 grado -PECVD-II		TOB-DSP-1200 grado -PECVD-III	TOB-DSP-1200 grado -PECVD-IV
Fuerza	3kW	3kW		4kW	4kW
Tamaño del tubo del horno (mm)	Diámetro 60(OD) X1800mm	Diámetro 80(OD) X1800mm		Diámetro 100(OD) X1800mm	Diámetro 120(DE) X1800mm
Dimensión	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Tensión de alimentación	220V
Número de fase	Fase única
Modo de control	Control de temperatura Yudiano 30 secciones solo pueden usar regulación de temperatura PID. Control de temperatura FP93 (de Japón) (Reemplazar instrumentos importados, por un cargo adicional) El control de temperatura del programa de 1,40 secciones se puede dividir en un programa de grupo 4,2,1, si el programa se divide en cuatro grupos, cada segmento de programa 10, Control PID de 2,6 grupos, temperatura baja, media y alta, cada uno con un conjunto de PID, de modo que cada segmento es capaz de controlar la temperatura con mucha precisión.
Modo de control de temperatura	PID inteligente
Protección y visualización del desgaste	Sí
Protección contra sobrecalentamiento	Sí
Protección contra la sobretensión	Sí
Precisión de control	+/- 1 grado
Desencadenar	Gatillo de cambio de fase
RCS	106 / 16E Alemania Simon Kang
La temperatura máxima de la zona de temperatura 1.2	1200 grados
La zona de temperatura 1.2 Temperatura nominal	1150 grados
Velocidad de calentamiento	Menos o igual a 30 grados/min (disponible previa solicitud de modificación)
Velocidad de calentamiento recomendada	Menos o igual a 15 grados / Min
Tipo de termopar	tipo K
La longitud de calentamiento de la zona de temperatura 1,2	205 mm
Temperatura de la superficie circundante	Menor o igual a 45 grados
Potencia de RF de plasma	Rango de salida de potencia		0-500W
	Potencia máxima reflejada		10W
	Frecuencia de señal		13,56 MHZ ± 0.005 %
	Ruido		<30 dB
	Aire acondicionado		método de enfriamiento
	Potencia de entrada		208-240V 50/60 HZ
Parámetros principales del sistema de suministro GX	Gama estándar		Controlador de flujo de protones 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (puedes elegir cualquier escala)
	Exactitud		± 1.5%
	Caída de presión		<0.01MPa
	Repetibilidad		± 0.2% F.S
	máx. Presión operacional		3 MP
VS-0.1 sistema de escape	fuente de alimentación		220V / 380V 380W
	Tasa de bombeo		2L / S
	Vacuómetro de resistencia		ZDR-I
	Rango de medición de vacío		0.1-10 5 Pa
	Bomba aspiradora		VRD-8
	Tubo corrugado		KF25X1000mm
	Sistema de vacío		10 -1Papá